MOCVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్

1. జీవితకాలం 300%+ పెరిగింది

బఫర్ లేయర్ టెక్నాలజీ, థర్మల్ షాక్ సైకిల్స్ సంఖ్యను 5,000 సార్ల కంటే ఎక్కువగా ఉండేలా చేస్తుంది (సాంప్రదాయ ఉత్పత్తులకు ఇది 1,500 సార్ల కంటే తక్కువ).

నిరంతర నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత 1650°C వరకు చేరుకోగలదు, మరియు పూతలో ఎటువంటి పగుళ్లు లేదా పొరలు ఊడిపోవడం కనిపించదు.

2. సున్నా కాలుష్య హామీ

SiC పూత యొక్క స్వచ్ఛత 6N గ్రేడ్ (లోహ మలినాల మొత్తం < 0.5ppm).

SEMI ప్రామాణిక కణ విడుదల పరీక్షలో ఉత్తీర్ణత సాధించింది (క్లాస్ 10 శుభ్రత).

3. ఉష్ణ క్షేత్ర ఏకరూపత అప్‌గ్రేడ్

ఆధార ఉపరితలంపై ఉష్ణోగ్రత వ్యత్యాసం ±2°C కంటే తక్కువగా ఉంటుంది (Φ300mm స్పెసిఫికేషన్ కోసం కొలవబడిన డేటా).

ఉష్ణ విరూపణ లేకుండా వేగవంతమైన తాపనానికి (20°C/s) మద్దతు ఇస్తుంది.

4. అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత

H2, NH3, మరియు TMAl వంటి వాయువుల వలన కలిగే తుప్పును నిరోధిస్తుంది, మరియు 18 నెలలకు పైగా సేవా జీవితాన్ని కలిగి ఉంటుంది.

ఉపరితల గరుకుదనం యొక్క మార్పు రేటు 5% కంటే తక్కువగా ఉంది (100 ప్రాసెస్ సైకిళ్ల తర్వాత పరీక్షించబడింది).

5. ప్రపంచవ్యాప్తంగా ప్రధాన మోడళ్లతో అనుకూలమైనది

50 నుండి 500 మిమీ వరకు వ్యాసాలలో అనుకూలీకరణకు మద్దతు ఇస్తుంది.

6. పూర్తి జీవిత చక్ర వ్యయ ఆప్టిమైజేషన్

సాధారణ ఉత్పత్తులతో పోలిస్తే నిర్వహణ కాలాన్ని మూడు రెట్లు పొడిగించారు.

ఎపిటాక్సియల్ వేఫర్ల దిగుబడి రేటు 2-3% పెరిగింది.

కంపెనీ బలం

సెమిక్స్‌ల్యాబ్ టెక్నాలజీ కో., లిమిటెడ్‌కు 2 ఆర్&డి కేంద్రాలు, 2 ఉత్పత్తి స్థావరాలు, 12 ఉత్పత్తి లైన్లు, 150 మందికి పైగా ఉద్యోగులు ఉన్నారు మరియు ఆర్&డి పెట్టుబడి 30% కంటే ఎక్కువగా ఉంది. మా ఉత్పత్తులు ప్రధానంగా ఎల్ఈడీ, ఐసీ ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్, మూడవ తరం సెమీకండక్టర్, ఫోటోవోల్టాయిక్ మరియు ఇతర పరిశ్రమలలో ఉపయోగించబడతాయి. సెమిక్స్‌ల్యాబ్‌కు బలమైన ఆర్&డి, ఉత్పత్తి మరియు సమీకృత పరీక్ష మరియు ధృవీకరణ సామర్థ్యాలు ఉన్నాయి. అదే సమయంలో, మేము ప్రతి సంవత్సరం పదుల మిలియన్ల పెట్టుబడితో మా సాంకేతికత మరియు పరికరాలను నిరంతరం మెరుగుపరుస్తున్నాము.

కీలక పనితీరు పారామితులు

ప్రాజెక్ట్ పారామితులు

ఆధార పదార్థం SGL ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్డ్ గ్రాఫైట్

పూత మందం: 80-200μm (అనుకూలీకరించదగినది)

పూత యొక్క స్వచ్ఛత ≥99.9999%

సాంద్రత: 1.85-1.90 g/cm³

ఉష్ణ వాహకత: 125 W/m·K (గది ఉష్ణోగ్రత)

వంగుదల బలం ≥45 MPa

నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత ≤1800°C (జడ వాతావరణం)

నాణ్యత హామీ వ్యవస్థ

పూర్తి ప్రక్రియ ట్రేసబిలిటీ: గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ నుండి కోటింగ్ ప్రక్రియ వరకు పూర్తి డేటా రికార్డింగ్.

ఖచ్చితమైన గుర్తింపు: SEM/EDS పూత విశ్లేషణ, హీలియం మాస్ స్పెక్ట్రోమెట్రీ లీక్ గుర్తింపు, అధిక-ఉష్ణోగ్రత థర్మల్ షాక్ పరీక్ష.

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు:

అప్లికేషన్ దృశ్యాలు లేదా పరికరాలు: Aixtron Epi పరికరాలు

ప్రధాన అనువర్తన దృశ్యాలు

● LED చిప్ తయారీ: GaN నీలం/తెలుపు LED ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్.

● పవర్ సెమీకండక్టర్లు: SiC/GaN పవర్ పరికరాలు (MOSFET, HEMT).

● 5G రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ పరికరాలు: అధిక ఫ్రీక్వెన్సీ మైక్రోవేవ్ రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ చిప్ సబ్‌స్ట్రేట్.

● లేజర్ డయోడ్: VCSEL, ఎడ్జ్-ఎమిటింగ్ లేజర్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రాసెస్.

● అధునాతన ప్యాకేజింగ్: అధిక ఖచ్చితత్వం గల సెమీకండక్టర్ పలుచని పొరల నిక్షేపణ.

సెమీకండక్టర్ చిప్ ఎపిటాక్సీ పరిశ్రమ శ్రేణి యొక్క అవలోకనం: