MOCVD కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ హీటర్

ఉత్పత్తులు వివరాలు

SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ MOCVD హీటర్, గ్రాఫైట్ యొక్క అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకతను SiC పూతల యొక్క అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తుప్పు నిరోధకతతో మిళితం చేస్తుంది, మరియు వేఫర్ ఎపిటాక్సీ వృద్ధి ప్రక్రియలలో స్థిరత్వం మరియు అధిక స్వచ్ఛతను నిర్ధారించడానికి మెటల్-ఆర్గానిక్ కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ (MOCVD) పరికరాలలో ఇది విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.

SiC పూత పూసిన గ్రాఫైట్ MOCVD హీటర్ ఉత్పత్తి లక్షణాలు

1. అత్యధిక స్వచ్ఛత మరియు రసాయన స్థిరత్వం

స్వచ్ఛత ≥99.99995%: మా గ్రాఫైట్ హీటర్ CVD ప్రక్రియ ద్వారా అధిక ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ కింద తయారు చేయబడింది, ఇది లోహ మలినాల కాలుష్యాన్ని సమర్థవంతంగా నివారిస్తుంది మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీలో అత్యంత శుభ్రమైన వాతావరణాల అవసరాన్ని తీరుస్తుంది.

రసాయన తుప్పు నిరోధకత: SiC పూత యొక్క దట్టమైన మరియు అధిక కాఠిన్యం (వికర్స్ కాఠిన్యం 2500-2800) ఆమ్లాలు, క్షారాలు, లవణాలు మరియు సేంద్రీయ ద్రావకాల కోతను నిరోధించగలదు, ఇది తుప్పు పట్టించే వాయు వాతావరణంలో పరికరాల సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది.

2. అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత

అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం: ఇది జడ వాతావరణంలో 3000°C వరకు, వాక్యూమ్ వాతావరణంలో 2200°C వరకు మరియు ఆక్సీకరణ వాతావరణంలో 1600-1700°C వరకు స్థిరంగా తట్టుకోగలదు, ఇది MOCVD రియాక్షన్ ఛాంబర్ యొక్క తీవ్రమైన పరిస్థితులకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.

తక్కువ ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకం (4.5 x 10-⁶K-¹): MOCVD గ్రాఫైట్ హీటర్ యొక్క ఈ లక్షణం, ఉష్ణోగ్రత మార్పుల కారణంగా పూత పగలడాన్ని లేదా ఊడిపోవడాన్ని సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది, తద్వారా దీర్ఘకాలిక ఉష్ణ చక్రాల కింద నిర్మాణ సమగ్రతను నిర్ధారిస్తుంది.

3. ఆప్టిమైజ్ చేయబడిన ఉష్ణ నిర్వహణ పనితీరు

అధిక ఉష్ణ వాహకత (200-300 W/mK): గ్రాఫైట్ MOCVD హీటర్ యొక్క అధిక ఉష్ణ వాహకత కారణంగా, ఉత్పత్తి వేడిని వేగంగా మరియు ఏకరీతిగా బదిలీ చేసి, స్థిరమైన వేఫర్ ఉపరితల ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని (±1°C) సాధించగలదు, తద్వారా ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క ఏకరూపతను సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది.

లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో ఫీల్డ్ డిజైన్: నిరంతర సాంకేతిక పునరావృతం మరియు ఉన్నతీకరణ తర్వాత, మా MOCVD హీటర్ ఉపరితల నునుపు (Ra ≤ 0.8μm) మరియు జ్యామితి ఆప్టిమైజేషన్, రియాక్టివ్ వాయువుల ఏకరీతి పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది మరియు అల్లకల్లోలం వలన కలిగే నిక్షేపణ అసమానతను తగ్గిస్తుంది.

సాంకేతిక పారామితుల పోలిక మరియు ప్రయోజనాలు

సెమిక్స్‌ల్యాబ్ ఎందుకు?

అనుకూలీకరణ: సెమిక్స్‌ల్యాబ్ మా వినియోగదారులకు అనుకూలీకరించిన ఉత్పత్తులు మరియు సాంకేతిక సేవలను అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది. విస్తృత శ్రేణి పరికరాల అవసరాలకు అనుగుణంగా, మేము ప్రామాణికం కాని పరిమాణాల (360 మిమీ వ్యాసం వరకు) మరియు పూత మందాల (20-500μm) అనుకూలీకరణకు మద్దతు ఇస్తాము.

ప్రపంచవ్యాప్త ధృవీకరణ: మా SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ హీటర్ SEMI ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా, ISO 9001 ధృవీకరణ పొందింది. మా ఉత్పత్తులు ప్రధానంగా యూరప్, యునైటెడ్ స్టేట్స్, అలాగే జపాన్ మరియు దక్షిణ కొరియాలకు గణనీయమైన ధర/పనితీరు ప్రయోజనంతో ఎగుమతి చేయబడతాయి.

సాంకేతిక సమన్వయం: కోటింగ్ సాంద్రతలను మరియు థర్మల్ షాక్ నిరోధకతను ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి, సెమిక్స్‌ల్యాబ్ పేటెంట్ పొందిన కోటింగ్ టెక్నాలజీలను (CGT కార్బన్ యొక్క SiC³ ప్రక్రియ వంటివి) ఉపయోగిస్తూ, చైనాలోని అగ్రశ్రేణి పరిశోధనా సంస్థలతో దీర్ఘకాలంగా సన్నిహిత సహకారాన్ని కొనసాగిస్తోంది.