క్వార్ట్జ్ భాగాలు

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో క్వార్ట్జ్ ఇప్పటికీ సర్వత్రా ఉంది. ఇది కొత్తది కానప్పటికీ, నమ్మదగినది మరియు చాలా ఫ్యాబ్‌లకు ఇది ఎలా ప్రవర్తిస్తుందో సుపరిచితమే. స్వచ్ఛతను నియంత్రించినంత కాలం, ఇది డిఫ్యూజన్, ఆక్సీకరణ మరియు క్లీనింగ్ దశలలో బాగా పనిచేస్తుంది.

చాలా క్వార్ట్జ్ భాగాలు కొలిమి వ్యవస్థలలోకి లేదా PECVD పరికరాలలోకి వెళ్తాయి. ప్రధానంగా ఆశించేది స్థిరత్వం — అంటే, ఎక్కువ కాలం మన్నిక ఉండాల్సిన అవసరం లేదు, కానీ ఊహించదగిన పనితీరు. చాలా ప్రామాణిక ప్రక్రియలకు ఇది సాధారణంగా సరిపోతుంది.

అయితే, క్వార్ట్జ్‌కు దాని పరిమితులు ఉన్నాయి. కొన్ని పరిస్థితులలో, ముఖ్యంగా SiC తో పోలిస్తే, ఇది త్వరగా అరిగిపోతుంది. కానీ ఇది సాపేక్షంగా సులభంగా లభించడం మరియు మరీ ఖరీదైనది కాకపోవడం వల్ల, ప్రజలు ఇప్పటికీ దీనిని చాలా ఎక్కువగా ఉపయోగిస్తున్నారు.